（化學(xué)品冷熱恒溫機(jī)，濕法設(shè)備好搭檔）
原標(biāo)題：化學(xué)品冷熱恒溫機(jī)，濕法設(shè)備好搭檔
以下篇文章是對(duì)化學(xué)品冷熱恒溫機(jī)的簡(jiǎn)單介紹。在半導(dǎo)體濕制程、生物制藥、冶金化工等諸多行業(yè)，制程工藝往往需要藥液的高精確控溫，若采用傳統(tǒng)的加熱與外水冷卻的方式來(lái)實(shí)現(xiàn)控溫，藥液溫度精度誤差大、控溫速率低、防腐性能低等等。
CSE研發(fā)的化學(xué)品冷熱恒溫機(jī)對(duì)上述缺陷能夠很好的彌補(bǔ)。它的傳熱方式是屬于熱傳導(dǎo)，就是熱量從物體內(nèi)溫度較高的部分傳遞到溫度較低的部分或者傳遞到與之接觸的溫度較低的另一物體的過程稱為熱傳導(dǎo)。通過冷熱交替從而實(shí)現(xiàn)熱液-冷液間溫度的傳遞，最終達(dá)到需要控制的溫度（冷熱都可以實(shí)現(xiàn)）。
然而，文章第一段提及的行業(yè)中，很多控溫的藥液往往帶有腐蝕性，制程工藝要達(dá)到100℃以上高溫，這就對(duì)冷熱恒溫機(jī)的要求更高了。CSE作為一家濕制程設(shè)備專業(yè)制造商，經(jīng)過多年研發(fā)及更新?lián)Q代，CSE研發(fā)的新型化學(xué)品冷熱恒溫機(jī)能夠?qū)崿F(xiàn)各行業(yè)95%以上的不同濕制程要求下的精確控溫。
冷熱恒溫機(jī)包括冷熱交換單元與控制系統(tǒng)兩個(gè)部分。冷熱交換單元根據(jù)藥液的不同特性，可采用PVDF、PTFE、不銹鋼等不同材質(zhì)制造。冷熱交換單元內(nèi)置半導(dǎo)體冷熱交換片、超溫保護(hù)單元、漏液保護(hù)單元、藥液防腐隔離單元等等。工藝槽的藥液經(jīng)過防腐泵、過濾器后、半導(dǎo)體冷熱控制單元形成一個(gè)閉環(huán)控制。根據(jù)槽體內(nèi)的溫度傳感器采集，PID數(shù)字閉環(huán)調(diào)節(jié)，重新注入處理槽內(nèi)。由此，經(jīng)過不斷循環(huán)交換冷熱，將藥液溫度實(shí)時(shí)控制在所需溫度范圍內(nèi)。
此化學(xué)品冷熱恒溫機(jī)還具有以下特點(diǎn)：
1、冷卻加熱器的傳液構(gòu)件使用的是氟塑料制品，不會(huì)產(chǎn)生污染，也不需擔(dān)心使用酸堿液后受到腐蝕性能下降。
2、由于橡膠O圈不直接接觸液體的密封構(gòu)造，酸性液、堿性液等每個(gè)藥液不需要選擇密封材料。
3、因?yàn)殡娮又评浞绞?，適用于室溫附近的溫度控制且高精度。
4、本裝置適合國(guó)際保護(hù)標(biāo)準(zhǔn)IP31。
5、裝置上有檢測(cè)藥液、冷卻水泄漏的漏液傳感器、檢測(cè)異常溫度的溫度傳感器。
采用化學(xué)品冷熱恒溫機(jī)，當(dāng)設(shè)定好制程藥液所需溫度，由控制單元精準(zhǔn)控制，則無(wú)需別操作。通過外接循環(huán)水的溫度，將藥液溫度控制精度達(dá)到±0.5℃，冷熱恒溫機(jī)內(nèi)部溫度控制精度達(dá)到±0.1℃，保證多批次清洗、刻蝕效果一致。同時(shí)，滿足節(jié)能環(huán)保的要求，且操作簡(jiǎn)單方便，快速完成冷熱交換，適用領(lǐng)域較廣。
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